首台 high-na euv 曝光機交貨 英特爾明年試產新製程
asml在社群媒體中貼出首台ｈigh-na euv交貨至英特爾，設備大小跟貨櫃相去不遠。圖／翻攝自asml社群平台x
艾司摩爾（asml）在社群媒體上貼出，第一台高數值孔徑極紫外光（high-na euv）曝光機台已經送貨到英特爾（intel），代表英特爾18a機台已經正式到位，明年第1季將可望順利進入試產，四年五節點製程計畫將持續執行。
asml於昨日晚間在社群媒體中貼出 high-na euv 曝光機台已經送至英特爾，並貼出與公司員工的合影。據了解，high-na euv 曝光機將會被用在英特爾18a製程當中，該機台一台造價至少新台幣50億元以上，大小等同於一台貨櫃車大小。
英特爾接收該批設備後，預期將可望在明年第1季開始試產18a製程，最快將於明年下半年進入量產。業界指出，英特爾18a製程已經掌握數個電信及網通客戶，屆時將可望成為支撐英特爾晶圓代工事業未來幾年營運動能。
據了解，英特爾在收到最新的 high-na euv 曝光機台後，代表先前喊出的四年五節點計畫將持續推進。英特爾所謂四年五節點計畫，包含了先前的 intel 7、intel 4、intel，以及後續的20a、18a製程，但由於歐美的高昂人力成本，將使客戶投片成本大幅增加，因此未來英特爾晶圓代工事業營運維持順利，外界都在抱持觀望態度。